姚先生所说的磁控直拉技术便是针对这方面的改进?”
布雷迪这个时候哪有平时那副全能全知的教授气度,完全是个懵懂的小学生,正一脸满怀期待的表情等待着姚飞的回答。
“不错,磁控直拉生长技术便是对传统的直拉生长技术的改进,此技术改进减少了熔体中的温度波度。
目前直拉法中固液界面附近熔体中的温度波动可以达到10c以上,而如果施加一个0.2t的磁场,那这个温度波动就会小于1c。
这样可以明显提高晶体中杂质分布的均匀性,同时晶体的径向电阻分布均匀性也可以得到提高;
这样一来,就可以降低单晶中的缺陷密度,减少杂质的进入,也就提高了晶体的纯度。
这是由于在磁场作用下,熔融硅与坩锅的作用减弱,使坩锅中的杂质较少进入熔体和晶体。
将磁场强度与晶体转动、坩锅转动等工艺参数结合起来,可有效控制晶体中氧浓度的变化;由于磁粘滞性,使扩散层厚度增大,可提高杂质纵向分布均匀性;有利于提高生产率。
采用磁控直拉技术,如用水平磁场,当生长速度为一般直拉法两倍时,仍可得到质量较高的晶体,对于大规模批量生产简直就是福音。”
对于这个磁控直拉技术,姚飞也没有藏私,将改进方法和一些改进参数告诉了布雷迪……