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第3667章 浸润式微影技术(2 / 2)

的屁颠屁颠的到处串联,于97年组建seatech联盟。

到了99年开始收购硅谷集团(svg),这是美国本土唯一的一家大型光刻机企业,asl更是超过canon,一跃成为光刻机领域排名世界第二,仅次于nikon。

也正是这种危机感,让nikon和canon这两家东洋企业不计前嫌的联手,研发下一代的157n光刻机。

而英特尔,摩托罗拉,ad等看到这一幕,向nikon和canon提出了休战合议,就是组建euv-llc联盟(极紫外光刻技术),由这些公司投资参股nikon和canon剥离光刻机部门,这种简直就是抢劫的行为,东洋那边一片骂声,当然不会同意。

当年的广场协定,可把东洋坑的不轻,这次自然不愿意再当上当的傻比。

于是英特尔,摩托罗拉,ad这些企业又找到asl,提出可以提供资金研发euv光刻机,才有了asl现在的路线争论。

“还有对雕刻源的选择,除了duv和euv,xpl(x射线近场光刻)、电子束光刻和离子投影光刻,这四种雕刻源代表着四个不同的方向,全球都有企业和研发机构在推进这些雕刻技术。不过除了这些,目前在公司里面呼声最高的是193n浸润式光刻技术。”

赵长安听的愣了一下,有点惊讶的望着萧扬名。

“在去年底的全球spie微光刻会议上,it的报告表明,在纯水环境157n技术有着太多的难题和不稳定性,然而对于193n,则和空气中的数据几乎没有任何的区别。”

萧扬名说道:“长安你可能没太明白这个报告的意义,其实只要你事后稍微想一下就明白了,尤其你也是微电子专业。。这样就解决了这个最根本的波长问题。”

“这个技术呼声最高的是飞利浦,英特尔,卡尔蔡司,这些euv-llc联盟成员。因为一旦成功,asl的市场份额就会从全球第二,进入全球第一,而且把nikon和canon甩开一个断层。不过这个技术上的难题依然很多,同样是即使投入大量的资源,也不能说就一定可以研发成功。”

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