答。
“不错,磁控直拉生长技术便是对传统的直拉生长技术的改进,此技术改进减少了熔体中的温度波度。
一般直拉法中固液界面附近熔体中的温度波动达10C以上,而施加0。2T的磁场,其温度波动小于1℃。这样可明显提高晶体中杂质分布的均匀性,晶体的径向电阻分布均匀性也可以得到提高;
降低了单晶中的缺陷密度,减少了杂质的进入,提高了晶体的纯度。这是由于在磁场作用下,熔融硅与坩锅的作用减弱,使坩锅中的杂质较少进入熔体和晶体。
将磁场强度与晶体转动、坩锅转动等工艺参数结合起来,可有效控制晶体中氧浓度的变化;由于磁粘滞性,使扩散层厚度增大,可提高杂质纵向分布均匀性;有利于提高生产率。
采用磁控直拉技术,如用水平磁场,当生长速度为一般直拉法两倍时,仍可得到质量较高的晶体,对于大规模批量生产简直就是福音。”
姚冬回答道。