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要步骤为:
(一)引晶:通过电阻加热,将装在石英坩埚中的多晶硅熔化,并保持略高于硅熔点的温度,将籽晶浸入熔体,然后以一定速度向上提拉籽晶并同时旋转引出晶体;
(二)缩颈:生长一定长度的缩小的细长颈的晶体,以防止籽晶中的位错延伸到晶体中;
(三)放肩:将晶体控制到所需直径;
(四)等径生长:根据熔体和单晶炉情况,控制晶体等径生长到所需长度;
(五)收尾:直径逐渐缩小,离开熔体;
(六)降温:降底温度,取出晶体,待后续加工。
而安德烈的问题就是出现在制备的第一步中。
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