沈飞想了想。
“就叫‘烛光计划’吧。蜡烛的光,虽然弱,但能在黑暗中照一点亮。”
当天晚上,沈飞订了去上海的机票。
这一次他要补全的是光刻机,毕竟现在手握麒麟9010、9020的设计方案,虽然台积电可以生产。
但他知道台坤电只能靠得住一时,一旦制裁力度加大,他们还是靠不住。
沈飞刚想闭上眼睛休息,系统的提示音再一次响起。
【检测到新任务触发:光刻机预研(烛光计划)】
【建议:先聚焦成熟工艺,积累技术,再逐步攻坚先进节点。
系统奖励:定向暴击一次。】
定向暴击,他笑着闭上眼,脑海里浮现出一个人名:梁孟松。
那个曾经让台坤电和三桑都为之忌惮的技术天才。
那个从台坤电跳到三桑,帮三桑在14n节点反超台坤电的传奇人物,那个被称为“半导体界的诸葛亮”的人。
2018年,他应该已经在华芯国际了。
沈飞记得,后来的历史里,梁孟松带领中芯国际用了不到三年时间,从28,甚至差点做出7n。
但因为没有euv光刻机,最终卡在了最后一步。
这一次,如果能提前给他一些关键支持
飞机穿过云层,窗外一片漆黑,正如他们现在一样,虽身处漆黑之中,但终将见到光明
魔都,浦东新区,华芯国际总部。
下午,沈飞站在一栋不起眼的办公楼前。
楼不高,外墙是灰色的,跟旁边那些崭新的玻璃幕墙大楼比起来,显得有些陈旧。
但门口的保安很严格,查验了三次身份才放行。
梁孟松的办公室在五楼,不大,堆满了各种资料和杂志。
沈飞进门的时候,他正趴在工作台上看一片晶圆的测试数据。
“梁博。”陪同的人介绍,“这位是菊厂的沈顾问,专程来拜访您。”
梁孟松抬起头,五十多岁的样子,头发花白,但眼里很精神。
他打量了沈飞一眼,点了点头,示意他坐。
“菊厂的人来,是为什么?”梁孟松摇了摇头,“如果是为了7n代工,我现在就可以告诉你。
做不了。”
沈飞笑了笑:“梁博,我知道做不了。没有euv光刻机,7n确实很难。”
梁孟松眉头一挑:“那你来干什么?”
“梁博,给您送技术路线的,您看看这个。
梁孟松看了一眼封面,眉头皱起来。
他翻开第一页,目光扫过几行字,然后停住了。
“多重曝光saqp”他喃喃念著,翻页的速度越来越快。
办公室里安静极了,只有翻纸的沙沙声。
沈飞没有打扰他,只是静静等著。
足足二十分钟后,梁孟松抬起头,眼神完全变了。
“这个方案,哪来的?”
“我推导的。”沈飞说,“基于公开资料和菊厂内部的一些数据。”
梁孟松盯着他看了几秒,然后笑了。
“年轻人,你知不知道,这个方案如果真能实现,意味着什么?”
“意味着不用euv,也能做到等效7n,就和现在的台积电一样。”沈飞说。
“不止。”梁孟松站起来,快速地走到她身边,“意味着我们可以跳过euv这个坑,用现有的duv光刻机,加上多重曝光技术,把线宽压到7n。
虽然良率会低一些,成本会高一些,但至少能做出来。”
他转过身,看着沈飞,问出了那个他在心里问过1万遍的问题
“你知道我为什么来中芯国际吗?”
沈飞摇头。
他知道历史,但此刻需要听梁孟松自己说。
“我在台坤电干了十几年,帮他们打赢了无数仗。
后来去了三桑,又帮三桑在14n上反超台积电。那时候我觉得,我这辈子够本了。”梁孟松的声音很平静,“但有一件事,我一直放不下。”
他走回座位,坐下。
“我是华国人。虽然拿了美国籍,但根在这里。
2017年,华芯国际找我,说想请我来做研发。
我考虑了半年,最后还是来了。
为什么?
因为我想看看,能不能用自己的本事,帮中国的半导体产业往前走一步。”
他苦笑着摊开了双手。
“来了之后才发现,难。
太难了。
设备被卡,材料被卡,软体被卡,连招个人都难。
我们想做7n,但没有euv,巧妇难为无米之炊,甚至连14n都有点困难。”
他拿起那份方案,又翻了翻。
“但你这份东西,给了我一个思路。,如果能把算法做精,把误差补偿做到位,也许真的能行。”
沈飞看着他:“梁博,如果这个方案可行,您愿意做吗?”
梁孟松抬头看他。
“你知道这要投入多少吗?要多少工程师?